공과대학 신소재공학과 장혜연(학‧석사 연계과정 1년, 지도교수 조병진) 학생이 지난 4월 10일(수)부터 4월 12일(금)까지 제주도 라마다호텔에서 개최된 ‘2019 한국세라믹학회 춘계학술대회 및 총회’에서 삼성전기 우수포스터상을 수상했다.
장혜연 학생은 “반응성 스퍼터링 공정 기반의 자가 구동형 2차원 MoS2/Si 헤테로접합 광 검출기 개발(Implementation of Self-Driven 2D MoS2/Si Heterojunction photodetector Using a Reactive RF Sputtering)”이라는 연구 주제로 발표해 상을 받았다.
이 연구는 원자 층 두께만큼 얇은 2차원 전이 금속 디칼코제나이드(TMD, transition metal dichalcogenide)계열의 MoS2(이황화몰리브덴)반도체 소재를 Si(규소) 위에 증착하여 외부 전압 없이도 작동하는 자가 구동형 광 검출기 다이오드 소자 개발과 관련된 것으로, 일반적으로 2차원 MoS2 초박막 소재를 스퍼터링 방법으로 증착하면 S(황) 원소가 상대적으로 많이 손실되는 현상 때문에 고품위의 박막을 증착하는 것이 쉽지 않은데 연구진은 H2S(황화수소) 반응성 가스를 도입하여 관련 문제를 해결했다. 관련 공정은 다른 2차원 전이 금속 디칼코제나이드계 소재에도 손쉽게 적용할 수 있는 원천 공정기술로 활용이 가능할 것으로 기대하고 있다.
한편, 이번 학술대회에서는 10개 분야에서 총 584여건의 포스터 발표 초록이 접수됐으며, 기조강연, keynote 강연 등 29개의 분야별 특별 심포지엄과 10개의 일반 심포지엄을 포함해 860여 편의 논문이 발표됐다.
